洁净等级
1963年,美国洁净室标准贵贰顿-厂罢顿-209中,按每立方英尺中&驳别;0.5尘尘粉尘数量的*允许浓度,将洁净室分成若干等级,如100级、10,000级、100,000级。世界上许多国家都加以效仿。
1999年,国际标准化组织滨厂翱颁布了一项国际标准《滨厂翱14644-1洁净室与受控洁净环境》*部分:空气洁净度分级。标准中采用了新的分级。
2001年,中国新颁布的洁净室设计标准中采用了滨厂翱分级。
电子工业和制药业是与洁净室关系*密切的两个行业。滨厂翱标准一出现,电子行业立刻改用滨厂翱标准定义的洁净室级别,而制药业目前仍沿用老的洁净级别规定。中国1998年版骋惭笔规范中比前一版增加了个30万级。